A ASML é líder em sistemas fotolitográficos na fabricação de semicondutores. Fotolitografia é o processo em que uma fonte de luz expõe padrões de uma máscara fotográfica em um wafer semicondutor. Os últimos avanços tecnológicos neste segmento permitem que fabricantes de chips aumentem continuamente o número de transistores na mesma área do silício, com a litografia representando uma parte alta do custo de fabricação de chips de ponta. A ASML terceiriza a fabricação da maioria de suas peças como montadora. Os clientes da ASML são TSMC, Samsung e Intel.